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      質量流量控制器
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      MFC系列流量控制器

      產品時間:2022-04-26 14:42:48

      簡要描述:

      質量流量控制器是半導體制造設備的關鍵,其利用溫度變化對應于質量流量的原理,可以對不同氣體進行流量測量和控制質量流量控制器的應用十分廣泛,可應對毫升級至數百升級的氣體流量控制范圍的工況需求,且不受環境溫度和壓力的變化影響。質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥和控制電路等部件組成,結構如上圖所示。氣體通過質量流量控制器(簡稱MFC)時,大部分氣體通過層流元件,成比例的部分氣體通過流量傳感

      詳細介紹

      質量流量控制器是半導體制造設備的關鍵,其利用溫度變化對應于質量流量的原理,可以對不同氣體進行流量測量和控制

      質量流量控制器的應用十分廣泛,可應對毫升級至數百升級的氣體流量控制范圍的工況需求,且不受環境溫度和壓力的變化影響。

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      質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥和控制電路等部件組成,結構如上圖所示。氣體通過質量流量控制器(簡稱MFC)時,大部分氣體通過層流元件,成比例的部分氣體通過流量傳感器?;诶字Z輸送定理,采用恒溫差方案的熱式傳感器將流量信號轉化為電信號,以此為基準測量當前通過MFC的氣體流量大小。微控制器比較設定信號與實際流量的差值,并驅動電陶瓷,實際動態的調整當前流量大小,已達到理想的設定值。質量流量控制器的流量控制范圍2-100%F.S.

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